研华（中国）有限公司

系统简介：
    北京某电子股份有限公司是国内最早研究和生产扩散炉的专用设备厂。先后为全国器件生产厂家提供4500余管各种型号的扩散炉产品。十几年，中、高档扩散炉的市场占有率始终都在70%以上。

    6472微控扩散系统是一种卧式四管扩散炉。具有四套独立的工艺炉管。 供大规模集成电路生产线6″硅片扩散、氧化、退火、合金等工艺使用。系统自动化程度高，是自行开发的、具有完全自主知识产权的主打设备之一。

系统要求：
1．可配工艺管外径：φ222mm

2．工作温度范围： 400~1300℃

3．恒温区长度及精度：760mm /±0.5℃

4．单点温度稳定性：600℃～1200℃   ±0.5℃/24h

5．升温时间:从室温升至1300℃≤90min

6．温度斜变能力：

升温速度：   15℃/min

    降温速度：   5℃/min

7． 送料装置： 程≥1650mm，速度 10～1000mm/min          

8．气体流量设定精度： ±2％

9．气路系统气密性；4×10-9 Atm.cc/s                             

10．供电电源：三相，ＡC380v/50Hz

研华解决方案：

☆系统采用研华AWS-8420工作站作控制主机，内置式12.1＂彩色液晶显示器，与各种板卡配套组成了高精度的温度数据采集和处理系统，并具有多种故障报警、报警安全保护、冷端补偿和故障自诊断功能等等。采用PC总线工业控制机。功耗小、寿命长。加上自主开发的、丰富严谨的软件支持，很方便地实现了对炉温、工艺气体流量、送料装置、阀门动作、温区斜变等的全自动控制，并管理全部工艺时序。自动化程度高，除装卸石英舟晶片外，其余全部由微机控制；具有良好的人机界面，系统的各种工艺参数均可在显示屏上显示并修改。

☆由于采用上述PC总线工控机配置，使设备很容易实现恒温区自动调整功能。不再像以往那样使用冰瓶、热偶、分辨率极高的电压测量系统，由人工一点一点的测量炉膛温度，之后再反复修正炉温设定值，反复测量炉膛温度来调整恒温区。而是启动设备上的一个功能键，通过Profile热偶便能实现恒温区的自动调整。

☆在设备的温度斜变功能上也有所增强，设备不仅仅要求单点温度能以一定的速率变化，更重要的是能使恒温区以一定的速率变化。面对硅片直径越来越大，温度斜变功能显得格外重要。如果设备没有温度斜变功能，特别是工作温度比较高时，有可能造成硅片翘曲甚至于碎片；如果温度斜变功能不够完善，炉膛升温时，也会造成炉膛各点温度不同，既而大大降低产品的一致性。采用这套PC总线工控机配置，通过软件和硬件巧妙结合，很成功地实现了较为理想的温度斜变功能。可以根据用户要求使恒温区以一定的速率稳步上升或下降。不仅大大的提高了设备的可靠性。产品片间、批间的一致性都比较好。

选用研华产品：
l AWS-8420

l ADAM-4017

l ADAM-4011

l PCL-726

l PCL-730

小结：
　　虽然现代系统工控越来越大量地使用了以太网和组态软件，但对于小系统设备来说，尤其是对那些具有VB、VC自主开发能力的用户来说，采用这种控制模式无疑是一个降低成本、增加和保护自主知识产权、提高市场竞争力的好方法。

系统原理图：