HEIDENHAIN 敞开式光栅尺的扫描单元和带尺之间无机械接触。
典型的应用为:测量设备,比较器和其它线性测量的高精密装置,以及半导体工业的测量装备。
● 准确度等级 ± 0.5 μm 和更高
● 测量步距 0.001 μm (1nm)
● 测量长度 30 m
● 扫描单元与带尺无摩擦
● 体积小,重量轻
● 移动速度高
HEIDENHAIN 的 LIP 光栅尺准确度等级为± 1 μm 到 ± 0.1 μm。可以选择不同的带尺材料使测量基准的热性能与测量物体相匹配。
刻线周期为 4 μm ,产生的输出信号周期为 2 μm。即使不带细分测量步距也可以达到 0.5 μm 。
扫描信号的高均匀性容许测量步距细达纳米。
LIP 400 系列
LIP 500 系列
LIP 300 系列