“耐高温压力传感器“在西安研制成功

    中广网西安6月16日消息，列入国家高技术研究发展计划（863计划）的“耐高温压力传感器”经过四年艰苦攻关，最近在西安交大研制成功。我国高温压力传感器产品长期依赖进口的局面从此将彻底改变。

    耐高温压力传感器广泛应用于航空航天、石油化工、汽车等领域高温环境下的压力测量。如测量航空航天发动机燃烧室在启动、停车、不稳定燃烧期间的各种瞬变压强，从而掌握燃烧室压强变化规律，为设计和评价发动机提供依据；测量石油化工领域各种反应釜、冶炼塔、采油井下的压力，为安全生产、提高石油产量提供判据；测量能源动力、军用火工品、汽车工业等在特种环境下的压力等。这些领域对耐高温压力传感器的年需求总量约为4万只，随着国 民经济和国防现代化的发展，高温压力传感器的市场需求将以每年10%～32%的速率递增。而常规的硅压力传感器只能在120℃以下进行压力测量，超过120℃时，传感器的性能会严重恶化以至失效，当传感器遇到被测流体大于1000℃瞬时高温冲击时，敏感元件就会被烧坏，导致信号处理系统和电路失调。长期以来，美国、瑞士、英国等国外公司的耐高温压力传感器产品垄断了国际市场，我国高温压力传感器产品主要依赖进口， 一直受制于人。

    研制我国有知识产权的耐高温压力传感器列入国家高技术研究发展计划后，西安交大蒋庄德教授率领课题组历时4年努力，终于完成了这一高科技攻关项目。教育部日前组织专家对这一项目进行科技成果鉴定后认为，西安交大精密工程研究所利用MEMS(微型机械电子系统)技术，研制出的硅隔离耐高温微型压力传感器，能在-30℃～250℃环境下进行压力测量，可完成1000MPa以下任意量程范围的压力测量， 能承受2000℃瞬时高温冲击。该项目属国内首创，有效解决了我国航空航天、石油化工、汽车工业等领域高温环境下压力测量的技术难题，解决了瞬时高温冲击下传感器失效的难题，打破了国外同类产品对我国传感器市场的垄断，提升了我国这一行业的整体水平和国际竞争能力，具有很高的推广和使用价值。

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