日山武株式会社推出CML系列流量计

    日本山武株式会社的流量计“CML系列”。空气和氮的计量范围为3000:1，气体的计量范围为1280:1，大大超过了以往的方式。该流量计的中心元件采用了微机（Micromachine）的技术。大小为1.7×1.7×0.5mm。在硅片表面形成厚度约1微米的氮化硅绝缘膜，在其内部用白金薄膜形成加热器（heater）、上流侧温度传感器以及下流侧温度传感器等3个零件。

        该传感器的用途极广。原因是传感器可直接测量质量流速并乘以截面积计算出质量流量。如果放入细管中则可用做小流量计，可放入热水器中；放入粗管中并且配置4张便可形成“CML系列”。只需批量生产该芯片并改变管的直径便可形成从小型到大型的各种流量计产品线。