CS-ARS系列角速率传感器(陀螺)
企业：西安中星测控有限责任公司 日期：2005-04-26
领域：仪器仪表 点击数：2494
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CS-ARS系列角速率传感器（陀螺）
一 简介
CS-ARS系列角速率传感器由西安中星测控有限公司自行研制，用来测量角速率的传感器。它采用进口MEMS芯片，制造采用BIMOS生产工艺和载流焊工艺技术。具有高可靠性和高封装坚固性,并且具备自检测（Self-Test）功能,实现BIT检测。
本产品可用于惯性测量元件、高可靠性的汽车电子、导弹制导和控制、飞行器稳定控制、天线整定、摄像、数码摄影回转仪等系统。
二 原理
CS-ARS系列角速率传感器依据谐振器陀螺原理工作。两个多晶硅敏感结构，每一个含有一个高频振动的框架，这个框架被静电式地驱动而谐振，形成了必要的速度元件。框架的两个外端组成一个电容敏感结构，以敏感有角速率时产生的科里奥利运动并产生电信号，该电信号被输送到放大级和解调级，从而输出正比于角速率的电信号。



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