中星公司推出CS-ARS-05系列小量程角速率传感器(陀螺)
近日,中外合资西安中星测控有限公司研制出了用于测量载体角速率的CS-ARS-05系列小量程角速率传感器(陀螺)。
CS-ARS-05系列小量程角速率传感器(陀螺)依据谐振陀螺原理而成,该传感器具有两个多晶硅敏感结构,每个敏感结构都含有一个静电驱动的高频振动框架,产生敏感科氏力所需要的速度,框架的两端组成一个电容性的敏感结构,敏感有角速率时产生的科氏运动并产生正比于角速率的电信号,该信号经过解调、放大、滤波、温补后输出。
由于CS-ARS-05系列小量程角速率传感器(陀螺)采用MEMS技术,量程范围在±20 °/s 。输出信号经过滤波以及温度补偿,具有可靠性高和耐冲击等特点,并且具备自检测功能(Self-Test),能实现BIT(Built-in-Test)检测。因此,可广泛应用于航空、航天、船舶、铁路、公路交通等领域的角运动测量。