海德汉 敞开式光栅尺 LIP系列

企业:约翰内斯 海德汉博士(中国)有限公司 日期:2009-07-23
领域:自动化软件 点击数:1504


   HEIDENHAIN 敞开式光栅尺的扫描单元和带尺之间无机械接触。

   典型的应用为:测量设备,比较器和其它线性测量的高精密装置,以及半导体工业的测量装备。

  ● 准确度等级 ± 0.5 μm 和更高

  ● 测量步距 0.001 μm (1nm)

  ● 测量长度 30 m

  ● 扫描单元与带尺无摩擦

  ● 体积小,重量轻

  ● 移动速度高

  HEIDENHAIN 的 LIP 光栅尺准确度等级为± 1 μm 到 ± 0.1 μm。可以选择不同的带尺材料使测量基准的热性能与测量物体相匹配。

  刻线周期为 4 μm ,产生的输出信号周期为 2 μm。即使不带细分测量步距也可以达到 0.5 μm 。

  扫描信号的高均匀性容许测量步距细达纳米。

  LIP 400 系列

  LIP 500 系列

  LIP 300 系列





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