海德汉 敞开式光栅尺 LIDA系列

　　HEIDENHAIN 敞开式光栅尺的扫描单元和带尺之间无机械接触。

　　典型的应用为：测量设备，比较器和其它线性测量的高精密装置，以及半导体工业的测量装备。

　　● 准确度等级 ± 0.5 μm 和更高
　　
　　● 测量步距 0.001 μm （1nm）

　　● 测量长度 30 m

　　● 扫描单元与带尺无摩擦
　
　　● 体积小，重量轻

　　● 移动速度高

　　LIDA 增量式光栅尺的测量基准是刻线周期为 20 μm （LIDA 400）或 40 μm （LIDA 100） 的 AURODUR 钢带尺。 新型号的 LIDA 光栅尺对污染和安装表面的不平度不敏感。

　　LIDA 400

　　LIDA 100

　　LIDA 475, LIDA 485

　　LIDA 477, LIDA 487

　　LIDA 171, LIDA 181

　　LIDA 175, LIDA 185

　　LIDA 175/LIDA 185 测量长度长达 30 m （100 ft）。整体 AURODUR 钢带尺插入到多个标准的带尺载体上。在两端拉紧并固定。

　　LIDA 177, LIDA 187

　　LIDA 177/LIDA 187 也是整体式带尺。由带尺载体导向，在中心处固定到机器上。测量长度最长到 6 m （237 in.）。

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