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标题 | 数显电阻真空计在罗茨真空泵的应用 |
技术领域 | |
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简介 | 介绍数显电阻真空计的原理及其在罗茨真空泵控制中的作用。 |
内容 |
1. 概述
ZDR数显电阻真空计,是目前国内的新型真空计测量仪器,它采用微机控制、数字显示,具有测量精度高,控制准确方便,显示直观的特点,它的测量是范围是1×105~1×10-1pa,适用于测量范围宽,反映灵敏的粗、低真空的测量.它不仅可以代替指针式真空表作远距离观察,它还具有控制功能。我们应用此真空计来控制我公司菊酯生产线罗茨真空泵的开、停机。
2. 工作原理
电阻计的工作原理是基于在低压强,利用气体分子的热传导,在高压时,利用气体分子的对流传热特性,使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系,鉴此本机采用微机对此线性进行误差修正,从而提高了测量精度。
由压强变化所引起的电阻规电阻值的变化,由测量桥路输出电压信号,由放大器放大,经A/D转换换入微机进行非线性处理,最后送显示器显示。其工作原理框图如下
3.零点、满度校准
由于电阻规制度时材料、工艺、装置等方面的因素,不同电阻规的性能有差异。因此,在使用新的电阻规时,需对该电阻规的性能连同仪器进行进行零点和满度的校准,以减少测量误差。其方法如下:首先校准零点,对被测真空系统抽真空,确定被测真空度高于1.0E |